Gegenüber Wasser Reaktiver Al-Verbundwerkstoff, Gegenüber Wasser Reaktiver Al-Film, Verfahren zur Herstellung des Al-Films und Bauelement für Filmbildungskammer

EP2284290 Art B1 3. August 2016

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2284290
Aktenzeichen
EP09738776
Anmeldetag
27. April 2009
Veröffentlichung
3. August 2016
Erteilung
3. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C4/06B01J19/00C22C21/00C23C14/00C23C16/44H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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