Elektronenstrahllithographiesystem und Verfahren zur Elektronenstrahllithographie
EP2284864
Art A1
16. Februar 2011
Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2284864
- Aktenzeichen
- EP08752503
- Anmeldetag
- 9. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20H01J37/21H01J37/304H01J37/317B82Y10/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advantest Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Kanzlei
Tetzner & Partner mbB
München, Deutschland
Tetzner & Partner mbB ist eine Münchner Patent- und Rechtsanwaltskanzlei, die seit 1962 zu Patentrecht, Markenrecht und weiteren Bereichen des gewerblichen Rechtsschutzes berät und Mandanten als European Patent and Trademark Attorney vertritt.
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