Bühnenvorrichtung, Strukturierungsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung, Bühnenantriebsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Bauelementeherstellungsverfahren

EP2284865 Art B1 2. September 2015

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2284865
Aktenzeichen: EP09738639
Anmeldetag: 30. April 2009
Veröffentlichung: 2. September 2015
Erteilung: 2. September 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01D5/347G01D5/38G01B11/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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