Elektrostatisches Futter
EP2286448
Art B1
28. November 2018
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2286448
- Aktenzeichen
- EP09750941
- Anmeldetag
- 15. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 28. November 2018
- Erteilung
- 28. November 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/687H02N13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.105 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar