Vorrichtung und Verfahren zum Hochleistungs-Puls-Gasfluss-Sputtern

EP2286643 Art B1 7. September 2016

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2286643
Aktenzeichen: EP09741871
Anmeldetag: 5. Mai 2009
Veröffentlichung: 7. September 2016
Erteilung: 7. September 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/46H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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