Gegenüber Wasser Reaktiver Al-Verbundwerkstoff, Gegenüber Wasser Reaktiver Al-Film, Verfahren zur Herstellung des Al-Films und Bauelement für Filmabscheidungskammer
EP2287354
Art B1
5. November 2014
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2287354
- Aktenzeichen
- EP09738775
- Anmeldetag
- 27. April 2009
- Veröffentlichung
- 5. November 2014
- Erteilung
- 5. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00C23C16/44C23C4/08C23C4/06C22C21/00C23C4/18C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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