Verfahren zur Fehlerüberprüfung und Fehlerüberprüfungsgerät

EP2287594 Art A1 23. Februar 2011

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2287594
Aktenzeichen: EP09750667
Anmeldetag: 22. Mai 2009
Veröffentlichung: 23. Februar 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/956H01L21/66G01N29/24G01N21/95G01N21/47G01N21/88G01N21/94G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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