Mehrfachstrukturierungsverfahren mit selbstausgerichteten Flankenstructuren
EP2287667
Art B1
27. März 2013
Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2287667
- Aktenzeichen
- EP10167364
- Anmeldetag
- 25. Juni 2010
- Veröffentlichung
- 27. März 2013
- Erteilung
- 27. März 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/40H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Rohm and Haas Electronic Materials, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Rohm and Haas
Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.
2.601 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Buckley, Guy Julian
Bakewell, Großbritannien
4.077
Patente gesamt
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Fachgebiete
23
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