Verfahren, Systeme und Komponenten zur Probenuntersuchung

EP2288904 Art A2 2. März 2011

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy, LLC, Carl Zeiss NTS, LLC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2288904
Aktenzeichen
EP09767265
Anmeldetag
26. Mai 2009
Veröffentlichung
2. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/22G01N23/225H01J37/00H01L21/66G01T1/24G01T1/29
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss Microscopy, LLC
Carl Zeiss NTS, LLC.
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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