Mischungen mit Niedrigem Ph zur Entfernung von Hochdichtem Implantierem Resist
Anmelder: ENTEGRIS INC., International Business Machines Corporation, Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2288965
- Aktenzeichen
- EP09739904
- Anmeldetag
- 1. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 2. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/42H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
International Business Machines Corporation
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.106 Patente in unserer Datenbank
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
12.078 Patente in unserer Datenbank
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar