Mischungen mit Niedrigem Ph zur Entfernung von Hochdichtem Implantierem Resist
EP2288965
Art A2
2. März 2011
Anmelder: ENTEGRIS INC., International Business Machines Corporation, Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2288965
- Aktenzeichen
- EP09739904
- Anmeldetag
- 1. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 2. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/42H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
International Business Machines Corporation
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
9.753 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
Patente gesamt
34
Fachgebiete
37
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar