Sputtertarget aus Nickellegierung.

EP2290122 Art B1 22. Januar 2014

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2290122
Aktenzeichen
EP10741143
Anmeldetag
22. Januar 2010
Veröffentlichung
22. Januar 2014
Erteilung
22. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C23C10/02C23C10/28C23C14/58C23C14/34C22C19/03C22F1/10H01L21/285H01L21/28C22B9/22C22B23/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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