Atomlagenbeschichtung (ALD) mit Metall Beta-Diektiminat-Verbindungen

EP2290126 Art B1 12. Februar 2014

Anmelder: Micron Technology, Inc., Micron Technology, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2290126
Aktenzeichen: EP10187947
Anmeldetag: 27. Juni 2006
Veröffentlichung: 12. Februar 2014
Erteilung: 12. Februar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/40H01L21/314H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Micron Technology, Inc.
Micron Technology, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von