Verbessertes Verfahren zur Bildung von Nickelsiliciden

EP2290128 Art B1 2. Oktober 2013

Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2290128
Aktenzeichen
EP10173802
Anmeldetag
24. August 2010
Veröffentlichung
2. Oktober 2013
Erteilung
2. Oktober 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C18/14C23C18/16C25D5/12C25D5/50C25D7/12C23C18/32H01L21/288H01L21/285H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Rohm and Haas Electronic Materials, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Rohm and Haas

Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.

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