Neue Fotoresistzusammensetzungen

EP2293143 Art B1 2. September 2015

Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2293143
Aktenzeichen
EP10163283
Anmeldetag
19. Mai 2010
Veröffentlichung
2. September 2015
Erteilung
2. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Rohm and Haas Electronic Materials, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Rohm and Haas

Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.

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