Anordnung in Zusammenhang mit Atomschichtabscheidungsreaktor

EP2294245 Art B1 26. November 2014

Anmelder: Beneq Oy, BENEQ OY 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2294245
Aktenzeichen
EP09761852
Anmeldetag
9. Juni 2009
Veröffentlichung
26. November 2014
Erteilung
26. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/455C30B25/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Beneq Oy
BENEQ OY
Land
🇫🇮 Finnland

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