Externes Strahlabliefersystem mit einem Katadioptrischen Objektiv mit Asphärischen Oberflächen
EP2294471
Art A2
16. März 2011
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2294471
- Aktenzeichen
- EP09767044
- Anmeldetag
- 15. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 16. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B17/08G02B21/10G02B21/12G02B3/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Lukaszyk, Szymon
Kancelaria Patentowa LukaszykNone