System umfassend einen beweglichen Körper, Antriebsverfahren zum Bewegen eines Körpers, Strukturbildungsvorrichtung, Strukturbildungsverfahren, Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP2294484 Art B1 11. Juni 2014

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2294484
Aktenzeichen: EP09746704
Anmeldetag: 13. Mai 2009
Veröffentlichung: 11. Juni 2014
Erteilung: 11. Juni 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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