Schutzschicht und Entwicklungsvorrichtung und -verfahren

EP2296042 Art A2 16. März 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2296042
Aktenzeichen: EP10176550
Anmeldetag: 14. September 2010
Veröffentlichung: 16. März 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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