Verfahren zur Wiederinstandsetzung von Elektroden aus mehreren Bestandteilen

EP2298042 Art B1 9. August 2017

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2298042
Aktenzeichen
EP09774083
Anmeldetag
23. Juni 2009
Veröffentlichung
9. August 2017
Erteilung
9. August 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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