Sputtering-Target auf Lanthanoxidbasis sowie Verfahren zur Herstellung des Sputtering-Targets

EP2298715 Art A1 23. März 2011

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2298715
Aktenzeichen
EP09794307
Anmeldetag
23. Juni 2009
Veröffentlichung
23. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C04B35/462C04B35/486C04B35/49C04B35/645H01L21/28H01L29/51C04B35/50C23C14/08C23C14/34H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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