Form für die Lithographie durch thermische Nanoprägung, ihr Herstellungsverfahren und thermische Nanorprägung, bei der sie zum Einsatz kommt.
EP2299324
Art B1
21. Februar 2018
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2299324
- Aktenzeichen
- EP10176641
- Anmeldetag
- 14. September 2010
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2018
- Erteilung
- 21. Februar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00B29C33/02
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Augarde, Eric
Toulouse, Frankreich
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8
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