Starre Zweifachservo-Nanobühne

EP2299483 Art B1 15. März 2017

Anmelder: Korea Institute Of Industrial Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2299483
Aktenzeichen: EP09738937
Anmeldetag: 17. April 2009
Veröffentlichung: 15. März 2017
Erteilung: 15. März 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H02N2/02H02N2/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute Of Industrial Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Industrial Technology

Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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