Duschkopf-Elektrodenbaugruppen für Plasmaverarbeitungsvorrichtungen
EP2301067
Art B1
11. Juli 2018
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2301067
- Aktenzeichen
- EP09762834
- Anmeldetag
- 22. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 11. Juli 2018
- Erteilung
- 11. Juli 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01L21/205C23C16/509H01J37/32C23C16/455C23C16/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Gritschneder, Martin
NoneMünchen