Eingespannte Duschkopfelektrodenanordnung
EP2301309
Art B1
6. Mai 2015
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2301309
- Aktenzeichen
- EP09794804
- Anmeldetag
- 6. Juli 2009
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2015
- Erteilung
- 6. Mai 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/34H05H1/38H01L21/3065C23C16/455C23C16/509H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Gritschneder, Martin
NoneMünchen