Verfahren und Vorrichtung zur Rekonstruktion mikroskopischer Strukturen
EP2302360
Art B1
23. Januar 2013
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2302360
- Aktenzeichen
- EP10175689
- Anmeldetag
- 8. September 2010
- Veröffentlichung
- 23. Januar 2013
- Erteilung
- 23. Januar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/47G01N21/956G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
van de Ven, Jan-Piet
Eindhoven, Niederlande
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