Verfahren und Vorrichtung zum Testen von TSVs in einem 3D-Chipstapel

EP2302403 Art A1 30. März 2011

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2302403
Aktenzeichen
EP09172258
Anmeldetag
5. Oktober 2009
Veröffentlichung
30. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G01R31/28G01R31/3185
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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