Isolierender Film für eine Halbleiteranordnung, Prozess und Vorrichtung zum Herstellen eines Isolierenden Films für eine Halbleiteranordnung, Halbleiteranordnung und Prozess zur Herstellung der Halbleiteranordnung

EP2302667 Art A1 30. März 2011

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd., Mitsubishi Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2302667
Aktenzeichen: EP09773393
Anmeldetag: 25. Juni 2009
Veröffentlichung: 30. März 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/38H01L21/318H01L21/768H01L23/522C23C16/34C23C16/507H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Mitsubishi Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

5.548 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Mitsubishi Electric

Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von