Verfahren zur Verringerung von Gedächtniseffekten bei der Halbleiterepitaxie
EP2304074
Art A1
6. April 2011
Anmelder: Dow Corning Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2304074
- Aktenzeichen
- EP09759091
- Anmeldetag
- 29. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 6. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dow Corning Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Dow Corning
US-amerikanischer Hersteller von Silikonen und siliziumbasierten Materialien mit Sitz in Michigan, gegründet 1943 als Joint Venture von Dow Chemical und Corning. Das Unternehmen firmiert heute als Dow Silicones Corporation.
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Vertreten von
Brannen, Joseph Waclaw
London, Großbritannien
137
Patente gesamt
26
Fachgebiete
12
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hawkins, Richard Dudley
NoneLondon