Reflektives Optisches Element und Verfahren zu Seiner Herstellung
EP2304479
Art B1
19. Juli 2017
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2304479
- Aktenzeichen
- EP09776669
- Anmeldetag
- 30. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2017
- Erteilung
- 19. Juli 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/08G21K1/06C23C14/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Werner, Anne-Estelle
Münster, Deutschland
19
Patente gesamt
13
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Werner & ten Brink
Werner & ten Brink · Münster