System und Verfahren zur Minderung von Partikeln und Kontamination mittels Abstimmung von Komplementären Strahlöffnungsformen auf Strahlformen
Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2304764
- Aktenzeichen
- EP09788818
- Anmeldetag
- 23. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 6. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/04H01J37/05H01J37/244H01J37/317H01J37/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Fachgebiete
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