Verfahren zum Wachsen von Gruppe-Iii-Nitriden
EP2304773
Art A1
6. April 2011
Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.), Université Montpellier 2 Sciences et Techniques, Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S) 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2304773
- Aktenzeichen
- EP09761782
- Anmeldetag
- 12. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 6. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/20
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)
Université Montpellier 2 Sciences et Techniques
Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S) - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
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