Stickstoffplasma-Oberflächenbehandlung in einem Direktbindungsverfahren

EP2304787 Art B1 19. Oktober 2011

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Libralesso, Laure, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2304787
Aktenzeichen
EP09765984
Anmeldetag
28. April 2009
Veröffentlichung
19. Oktober 2011
Erteilung
19. Oktober 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Libralesso, Laure
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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