Nicht-thermischer Prozess für die Herstellung poröser Filme mit niedriger Dielektrizitätskonstante

EP2306499 Art A3 1. Juni 2011

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2306499
Aktenzeichen: EP11151731
Anmeldetag: 10. November 2003
Veröffentlichung: 1. Juni 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/316C23C16/40C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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