Verfahren zur Aufbringung von Übergangsmetallhaltigen Schichten unter Verwendung Heteroleptischer Cyclopentadienylübergangsmetallvorläufer

EP2307589 Art B1 19. Dezember 2018

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2307589
Aktenzeichen
EP09786715
Anmeldetag
24. Juli 2009
Veröffentlichung
19. Dezember 2018
Erteilung
19. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C07F17/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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