Sputtertarget aus Kupferlegierung und Halbleiterelementverdrahtung

EP2309021 Art B1 21. November 2012

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation, Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2309021
Aktenzeichen
EP10184839
Anmeldetag
16. Oktober 2003
Veröffentlichung
21. November 2012
Erteilung
21. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C22C9/01C22C9/02H01L21/28H01L21/285H01L21/3205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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