Reinigung eines Gasstroms zur Entrfernung von Hydriden oder Silan durch Absorption mit Flüssigem Propan

EP2310111 Art B1 23. Januar 2013

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2310111
Aktenzeichen
EP09785253
Anmeldetag
24. Juni 2009
Veröffentlichung
23. Januar 2013
Erteilung
23. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/14F25J3/02C01B33/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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