Telezentrizitätskorrektor für Mikrolithografisches Projektionssystem

EP2310914 Art B1 26. Dezember 2018

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2310914
Aktenzeichen
EP09788838
Anmeldetag
25. Juni 2009
Veröffentlichung
26. Dezember 2018
Erteilung
26. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B13/22G02B27/42G02B27/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Corning Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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