Verfahren zum Dotieren von Halbleiterstrukturen

EP2311072 Art B1 4. September 2013

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2311072
Aktenzeichen
EP09780201
Anmeldetag
6. Juli 2009
Veröffentlichung
4. September 2013
Erteilung
4. September 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/225H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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