Verfahren zur Herstellung von Implantaten in einem Substrat
EP2311083
Art A1
20. April 2011
Anmelder: Soitec, Commissariat A L'Energie Atomique C.E.A., S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2311083
- Aktenzeichen
- EP09804532
- Anmeldetag
- 7. Juli 2009
- Veröffentlichung
- 20. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Soitec
Commissariat A L'Energie Atomique C.E.A.
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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Ilgart, Jean-Christophe
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