Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung von Proben

EP2312302 Art A1 20. April 2011

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd., Jeol System Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2312302
Aktenzeichen
EP10250397
Anmeldetag
5. März 2010
Veröffentlichung
20. April 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/225H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Jeol System Technology Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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