Plasmaresistente Verarbeitungsvorrichtung

EP2312614 Art A2 20. April 2011

Anmelder: Greene, Tweed Of Delaware, Inc., Daikin Industries, Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2312614
Aktenzeichen: EP10186987
Anmeldetag: 8. Oktober 2010
Veröffentlichung: 20. April 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Greene, Tweed Of Delaware, Inc.
Daikin Industries, Ltd.
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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