Unterdruckverarbeitungseinrichtung und Gasversorgungsverfahren

EP2312617 Art A1 20. April 2011

Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2312617
Aktenzeichen: EP09773427
Anmeldetag: 29. Juni 2009
Veröffentlichung: 20. April 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C23C16/455C23C16/52C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sharp Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sharp

Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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