Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Höhe einer Reihe räumlicher Positionen auf einer Probe, die ein Profil einer Oberfläche mithilfe der Weißlicht-Interferometrie definieren

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2314982

Aktenzeichen

EP09173518

Anmeldetag

20. Oktober 2009

Veröffentlichung

2. Dezember 2020

Erteilung

2. Dezember 2020

Rechtsraum

EP

IPC

G01B9/02G01B9/04

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma

Mitutoyo Corporation

Land

🇯🇵 Japan

Fachgebiete