Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Höhe einer Reihe räumlicher Positionen auf einer Probe, die ein Profil einer Oberfläche mithilfe der Weißlicht-Interferometrie definieren

EP2314982 Art B1 2. Dezember 2020

Anmelder: Mitutoyo Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2314982
Aktenzeichen
EP09173518
Anmeldetag
20. Oktober 2009
Veröffentlichung
2. Dezember 2020
Erteilung
2. Dezember 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/02G01B9/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitutoyo Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitutoyo Corporation

Mitutoyo ist ein japanischer Hersteller von Präzisionsmessgeräten mit Sitz in Kawasaki. Die Patente betreffen Messtechnik, Koordinatenmessgeräte und Sensorik.

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