Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung eines Halbleitersubstrats

EP2315235 Art B1 24. April 2019

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2315235
Aktenzeichen: EP09173658
Anmeldetag: 21. Oktober 2009
Veröffentlichung: 24. April 2019
Erteilung: 24. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/02B08B3/02B08B3/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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