Anordnung und Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas mit Definiertem und Stabilem Ionisierungszustand

EP2316123 Art B1 14. Mai 2014

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Ifu Diagnostic Systems GmbH, Ifu Diagnostic Systems Gmbh 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2316123
Aktenzeichen: EP08801509
Anmeldetag: 1. August 2008
Veröffentlichung: 14. Mai 2014
Erteilung: 14. Mai 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/34C23C16/515C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Ifu Diagnostic Systems GmbH
Ifu Diagnostic Systems Gmbh
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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