Verbundduschkopfelektrodenanordnung für eine Plasmaverarbeitungsvorrichtung
EP2316253
Art B1
23. Mai 2018
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2316253
- Aktenzeichen
- EP09806941
- Anmeldetag
- 6. August 2009
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2018
- Erteilung
- 23. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/34H01L21/3065H01L21/203H01L21/205H01L21/265C23C16/455C23C16/509H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
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