Vorrichtung zur Herstellung einer mehrschichtigen Folie und Verfahren zur Herstellung der mehrschichtigen Folie

EP2316985 Art B1 4. Dezember 2013

Anmelder: Kojima Press Industry Co., Ltd., ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2316985
Aktenzeichen
EP10251790
Anmeldetag
13. Oktober 2010
Veröffentlichung
4. Dezember 2013
Erteilung
4. Dezember 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/56C23C14/20B05D7/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kojima Press Industry Co., Ltd.
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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