Reflektiver Maskenrohling, reflektive Maske und Verfahren zur Herstellung des Maskenrohlings und der Maske

EP2317383 Art A3 28. Dezember 2011

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2317383
Aktenzeichen: EP10196584
Anmeldetag: 11. April 2003
Veröffentlichung: 28. Dezember 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/14H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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