Verfahren zur Herstellung einer Stützstruktur

EP2317546 Art A1 4. Mai 2011

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2317546
Aktenzeichen
EP09174710
Anmeldetag
30. Oktober 2009
Veröffentlichung
4. Mai 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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