Verfahren zur Bestimmung der Rekombinationseigenschaften an einem Messteilbereich einer Messseite einer Halbleiterstruktur

EP2318851 Art B1 7. Mai 2014

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2318851
Aktenzeichen: EP09777941
Anmeldetag: 18. August 2009
Veröffentlichung: 7. Mai 2014
Erteilung: 7. Mai 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G01R31/265G01R31/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

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🇩🇪 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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